יכולת התגובה חזקה. כאשר יש מים וחמצן, הוא יגיב עם חומרים חשמליים ומים עוד יותר, ובכך יתפרק ליצירת גזים רעילים או רעילים מאוד. גזים רעילים אלו פוגעים בעיקר במערכת הנשימה של גוף האדם. לאחר הרעלה, יופיעו תגובות שליליות כגון קור, אלרגיה בעור, בחילות והקאות, עייפות וכו'. בשאיפה במינונים גדולים יתרחשו השלכות חמורות יותר.
לכן, אמצעי ההגנה הבאים יינקטו במהלך התחזוקה והבדיקה של ציוד SF6:
(1) אתר העבודה יהיה מאוורר היטב, ואנשי התחזוקה יהיו במצב הרוח;
(2) ללבוש מסכת גז וכפפות מגן;
(3) לשחזר את הגז שנפלט, או להזרים את הגז לביוב באמצעות צינור, במקום להזרים אותו ישירות לאטמוספירה;
(4) לפני ההפסקה או אחרי העבודה, שטפו את הפנים, הצוואר, הזרועות והידיים בסבון ובהרבה מים;
(5) במקרה של מגע מקרי במינון גדול של גז, יש לכבס מיד, להחליף בגדים ולפנות בזמן לבית החולים להשגחה וטיפול.