SF6, הידוע גם בשם הגופרית הקספלואוריד, אינו רעיל מטבעו, אך אם איכותו לא טהורה או שהוא מתפצל לתרכובות שונות בפלואור נמוך תחת פעולת קשת, כגון סולפוריל פלואוריד, סולפוריל פלואוריד, גופרית טטראפלואוריד, חומצה הידרופלואורית וכו' ., יש לו רעילות שונה.
גז hexafluoride גופרית טהור הוא חסר צבע, חסר ריח, ובעצם לא רעיל בטמפרטורת החדר. זוהי תרכובת הלוגן יציבה מבחינה כימית עם תכונות בידוד טובות וכיבוי קשת.
1. סולפוריל עם פלואור
הוא שייך לגז חסר צבע ושקוף בעל תכונות כימיות יציבות והוא רעיל ביותר. במהלך ניסויים בבעלי חיים, הוא יכול להיחנק ולמות עקב בצקת ריאות;
2. סולפוריל פלואוריד
בטמפרטורת החדר, זהו גז ורעיל. שאיפה מוגזמת עלולה לגרום לגודש בריאות, תימוס וקרום המוח, בדרך כלל להוביל להתקפים ולמוות בתקופה זו;
3. גופרית טטרפלואוריד
בטמפרטורת החדר מדובר בגז חסר צבע וחריף שמתחבר בקלות עם מים ויוצר עשן, אשר נשאף בקלות על ידי גוף האדם ופולש לריאות, גורם לנזק בריאות וגורם למחלות מערכת הנשימה;
4. חומצה הידרופלואורית
חומצה הידרופלואורית היא חומצה אנאורגנית מסוכנת ורעילה ביותר, בשימוש נרחב בתחומי התעשייה ובחיי היומיום. לחומצה הידרופלואורית יש קורוזיביות חזקה ועלולה לגרום לכוויות קורוזיביות. הרעילות ויכולת החדירה שלו לרקמות חזקה, ואפילו אזורים קטנים של כוויות חומצה הידרופלואורית עלולים לגרום למוות תוך פרק זמן קצר.
SF6 הוא גז אינרטי בעל בידוד מעולה ואינו ניתן להצתה. SF6 טהור אינו רעיל, אך לאחר אלקטרוליזה הוא משחרר חומר רעיל ביותר שעלול לגרום לסרטן ולנזק משמעותי לכבד.
לכן, כאשר נמצאים בסביבת גז הגופרית הקספלואוריד, על מנת להימנע מהרעילות שלו לכיבוי הקשת, יש צורך לעזוב מיד את סביבת גז הגופרית הקספלואוריד ולפתוח חלונות לאוורור כדי להאיץ את פיזור הגז.